掃描電鏡的分辨能力適用表征標(biāo)準(zhǔn)范圍-科學(xué)與藝術(shù)的選擇
更新時(shí)間：2017-02-08 點(diǎn)擊量：4026
1、掃描電鏡的相對(duì)極限適用表征形貌標(biāo)準(zhǔn)--結(jié)構(gòu)特征放大到3-6mm ，能看出基本外形和結(jié)構(gòu)特征。儀器觀測(cè)條件需要發(fā)揮到相對(duì)極限。操縱難度高，需要極大耐心豐富的操縱經(jīng)驗(yàn)。
場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡有效表征：20nm-40nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)15萬(wàn)-30萬(wàn)倍 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 800nm--400nm
六硼化鑭大型掃描電鏡有效表征：40nm-80nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)7.5萬(wàn)-15萬(wàn)倍 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 1.6μm--800nm
鎢燈絲大型掃描電鏡有效表征：60nm-120nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)5萬(wàn)-10萬(wàn)倍 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 2.4μm--1.2μm
小型桌面臺(tái)式掃描電鏡有效表征：400nm-800nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù) 7500x-15000x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 16μm--8μm
2、掃描電鏡中等潛能適用表征形貌標(biāo)準(zhǔn)--結(jié)構(gòu)特征放大到3-6mm，能看出基本外形和結(jié)構(gòu)特征。儀器觀測(cè)條件設(shè)置在中等水平，操縱難度適中，一般經(jīng)過(guò)系統(tǒng)培訓(xùn)可以實(shí)現(xiàn)。
場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡 40nm-80nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)75000x-150000x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 1.6μm--800nm
六硼化鑭大型掃描電鏡 80nm-170nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)35000X-75000X 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 3.5μm--1.6μm
鎢燈絲大型掃描電鏡120nm-600nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)25000x-50000x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 4.8μm--2.4μm
小型桌面臺(tái)式掃描電鏡 800nm-1600nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)3750x-7500x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 32μm--16μm
3、掃描電鏡一般使用對(duì)應(yīng)的形貌特征標(biāo)準(zhǔn)-結(jié)構(gòu)特征放大到3mm以上。儀器觀測(cè)條件設(shè)置在中等水平以下，操縱簡(jiǎn)單，一般簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可上機(jī)操縱。
場(chǎng)發(fā)射大型掃描電鏡 大于80nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于75000x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 大于1.6μm
六硼化鑭大型掃描電鏡 大于170nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于35000X 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 大于3.5μm
鎢燈絲大型掃描電鏡 大于240nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于25000x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 大于4.8μm
小型桌面臺(tái)式掃描電鏡 大于1600nm 對(duì)應(yīng)倍數(shù)小于3750x 對(duì)應(yīng)觀察視野寬度 大于32μm
光學(xué)顯微鏡的有效放大倍數(shù)1000倍： 對(duì)應(yīng)的觀察視野寬度 大于120μm
就像汽車(chē)的經(jīng)濟(jì)速度，我們選擇掃描電鏡也一樣，能夠經(jīng)常使用在其分辨任性能的一半或者zui高有效放大倍數(shù)的一半左右，是的。針對(duì)大型鎢燈絲掃描電鏡，掃描電鏡應(yīng)該長(zhǎng)期的保持在4.8μm--2.4μm視野范圍內(nèi)有效觀察。
掃描電鏡往往有維護(hù)周期，在維護(hù)周期內(nèi)，隨使用時(shí)間推移，掃描電鏡的性能會(huì)不斷下降。假如考慮掃描電鏡干擾因素，性能不斷下降因素，獲得均勻性能的發(fā)揮，以上數(shù)據(jù)須打折扣。掃描電鏡的使用方法和維護(hù)很重要''如不能正確使用和維護(hù)''發(fā)揮出中等能力也很困難，只能是低水平應(yīng)用。
掃描電鏡應(yīng)用是科學(xué)也是藝術(shù)，經(jīng)驗(yàn)豐富的專(zhuān)業(yè)職員能夠發(fā)揮其zui大潛能，而大多使用者令其在中間能力發(fā)揮作用，在中等條件下，獲得良好好的圖像質(zhì)量。假如希望看圖像質(zhì)量更好，甚至達(dá)到藝術(shù)級(jí)別，那么需要相應(yīng)的進(jìn)步儀器檔次，或者降低儀器使用表征標(biāo)準(zhǔn)范疇。
