全自動掃描電鏡采用統(tǒng)一的優(yōu)良電子光學(xué)技術(shù)，具有相同的分辨率性能和圖像質(zhì)量，涵蓋市場用戶各種配置需求，可升級為亮度提高10倍的更高級的電子槍，實(shí)現(xiàn)納米尺度形貌快速表征，樣品臺均采用先進(jìn)優(yōu)中心結(jié)構(gòu)，方便傾斜復(fù)位，微區(qū)多角度原位分析。
全自動掃描電鏡隨時(shí)開關(guān)機(jī)，操作分析靈活高效率，使用維護(hù)簡便很經(jīng)濟(jì)，無需獨(dú)立地線，可移動，集成多項(xiàng)高新科技成果，具有的易設(shè)置和易使用性，是一款安裝于電鏡鏡筒上、采用氣體冷卻的冷凍制備系統(tǒng)，具備樣本快速冷凍、處理、轉(zhuǎn)移的所有裝置。
掃描電鏡冷凍制樣腔室配備渦輪分子泵，內(nèi)置樣本斷裂、升華刻蝕、濺射鍍膜的工具，樣本隨后經(jīng)冷凍傳輸系統(tǒng)到掃描電鏡的冷臺進(jìn)行觀察，制樣腔室和SEM腔室的冷捕獲能力確保全程處于冷凍狀態(tài)，樣本的處理時(shí)間在5-10分鐘，通過裝在寬敞的工作站上的大且直觀的觸摸屏實(shí)現(xiàn)的，操作者可隨時(shí)訪問和控制所有操作參數(shù)。
掃描電鏡整體系統(tǒng)的突出特點(diǎn)是可視性，冷制備腔室和SEM腔室裝有CCD，其內(nèi)部圖像被顯示在控制屏上，制備腔室有五個(gè)觀察窗口，方便觀察樣品和腔室內(nèi)部的情況，圖像可布滿整屏，允許用戶自定義方案，可快速輸入和儲存方案以便隨時(shí)訪問調(diào)用，可實(shí)現(xiàn)自動濺射及自動升華刻蝕的功能，并且具有屏幕幫助及操作提示功能，通過CCD相機(jī)，屏幕可顯示制備腔室和掃描電鏡腔室內(nèi)部的圖像。
