臺式電鏡能譜一體機同時具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析?？梢詫㈦婄R和能譜在生產環(huán)節(jié)集成在一臺設備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，也變得相對簡單快速。
臺式電鏡能譜一體機能進行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。其工作原理是：各種元素具有自己的X射線特征波長，特征波長的大小則取決于能級躍遷過程中釋放出的特征能量E，能譜儀就是利用不同元素X射線光子特征能量不同這一特點來進行成分分析的。
能譜定量分析的準確性與樣品的制樣過程，樣品的導電性，元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關。因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差（數(shù)據庫及標準），我們無法消除，也有一些人為因素產生的誤差（操作方法），這些因素都會導致能譜定量不準確。
多層壓電陶瓷由數(shù)層壓電材料組成，與內部電極交錯排列。內部電極相繼定位為正極和負極，所有正電極都連接到組件一側的一個外部電極。負極連接在組件的另一側。
與單層壓電陶瓷相比，多層壓電陶瓷的很大優(yōu)勢在于，在實現(xiàn)與單層壓電陶瓷相同的位移時，可以減少施加的電壓。單層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù)d33乘以電壓，多層壓電陶瓷的位移等于壓電常數(shù)d33乘以電壓乘以層數(shù)。
多層壓電陶瓷器件品質要求較高，其內部多層結構需要使用掃描電鏡（SEM）觀察，例如每一層陶瓷是否有缺陷，多層陶瓷的厚度是否均勻，作為電極的銀層是否覆蓋均勻，這些結構影響著器件的使用壽命。
