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背散射電子（Backscattered electron -BSE）圖像會(huì)體現(xiàn)有關(guān)樣品材料襯度的信息。利用背散射電子探測(cè)器（BSD）獲取樣品圖像的質(zhì)量會(huì)受到很多因素的影響，如樣品的電導(dǎo)率，形貌，樣品成分，BSD探測(cè)器類型以及電子器件等。

在本篇博客中，將使用同一套成像系統(tǒng)、*相同的探測(cè)器對(duì)同一個(gè)樣品進(jìn)行控制變量實(shí)驗(yàn)，分析影響背散射電子圖像質(zhì)量的因素，這些因素包括采樣幀數(shù)、束流強(qiáng)度，以及工作距離、樣品倉(cāng)真空度等。

掃描電鏡的背散射電子成像

背散射電子一種電子槍中電子與樣品表面原子的原子核發(fā)生彈性散射進(jìn)而被收集到的高能量反射電子。

首先，背散射電子（BSE）圖像的質(zhì)量當(dāng)然取決于探測(cè)器的類型及其電路設(shè)計(jì)，還取決于樣品的類型以及導(dǎo)電性的好壞。但是如果討論使用一臺(tái)探頭型號(hào)固定的掃描電鏡觀察特定樣品（這意味著探頭、鏡筒、樣品導(dǎo)電率不能改變），那么還有哪些因素會(huì)決定背散射圖像的質(zhì)量呢？