高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡通過電信號(hào)放大器加以放大處理，成像在顯示系統(tǒng)上，掃描電鏡工作原理的特殊之處在于把來自二次電子的圖像信號(hào)作為時(shí)像信號(hào)，將一點(diǎn)一點(diǎn)的畫面“動(dòng)態(tài)”地形成三維的圖像。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是掃描電鏡能譜行業(yè)的一個(gè)里程碑，亮度10倍于鎢燈絲的CeB6燈絲，不僅使成為*分辨率高的臺(tái)式掃描電鏡，同時(shí)也使 X射線能譜儀提供更加準(zhǔn)確、快速的元素分析。高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的背散射圖像，首先從視覺上用不同的灰度呈現(xiàn)不同的元素，進(jìn)一步利用X射線探測器，就能輕松確認(rèn)不同灰度區(qū)域元素的名稱和含量，提供5-95號(hào)元素的點(diǎn)掃描，線掃描和面掃描三種分析模式。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡系統(tǒng)和X射線能譜儀系統(tǒng)使用的軟件，用戶通過一個(gè)界面就可以操控兩項(xiàng)功能，圖形化的設(shè)計(jì)，使操作變得的簡單，點(diǎn)擊感興趣的區(qū)域，在數(shù)秒內(nèi)既可以得到微觀形貌信息，同時(shí)得到該區(qū)域的表面元素分布信息。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射，是介于透射電鏡和光學(xué) 顯微鏡之間的一種微觀形貌觀，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。
高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，2-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡單。目前的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。
