飛納桌面掃描電鏡可粗略分為鏡體和電源電路系統(tǒng)兩部分。鏡體部分由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集和顯示系統(tǒng)以及真空抽氣系統(tǒng)組成。由電子槍,電磁透鏡,掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強(qiáng)度和圖像分辨率,掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號?,F(xiàn)在普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體,光導(dǎo)管和光電倍增器所組成。
掃描電鏡技術(shù)發(fā)揮著重要的作用,被廣泛應(yīng)用于各種材料的形態(tài)結(jié)構(gòu)、界面狀況、損傷機(jī)制及材料性能預(yù)測等方面的研究。利用掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產(chǎn)生過程,可以觀察金屬材料內(nèi)部原子的集結(jié)方式和它們的真實(shí)邊界,也可以觀察在不同條件下邊界移動的方式,還可以檢查晶體在表面機(jī)械加工中引起的損傷和輻射損傷等。
飛納桌面掃描電鏡的附件:
掃描電鏡一般都配有波譜儀或者能譜儀。波譜儀和能譜儀是不能互相取代的,只能是互相補(bǔ)充。波譜儀是利用布拉格方程2dsinθ=λ,從試樣激發(fā)出了X射線經(jīng)適當(dāng)?shù)木w分光,波長不同的特征X射線將有不同的衍射角2θ。
波譜儀是微區(qū)成分分析的有力工具。波譜儀的波長分辨率是很高的,但是由于X射線的利用率很低,所以它使用范圍有限。能譜儀是利用X光量子的能量不同來進(jìn)行元素分析的方法,對于某一種元素的X光量子從主量子數(shù)為n1的層躍遷到主量子數(shù)為n2的層上時,有特定的能量ΔE=En1-En2。
能譜儀的分辨率高,分析速度快,但分辨本領(lǐng)差,經(jīng)常有譜線重疊現(xiàn)象,而且對于低含量的元素分析準(zhǔn)確度很差。